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日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵

簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵
通過與干式真空泵、油旋轉(zhuǎn)真空泵或水封真空泵一起使用，機(jī)械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間，此時粗抽泵的抽速會下降?！癕odel：PRC" 專為特別需要清潔度的半導(dǎo)體和液晶顯示器工藝而設(shè)計?？梢赃x擇大氣壓啟動類型作為選項。

更新時間：2025-06-20

訪問量：16

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號：PRC-003A

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產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵

特征

無油泵殼內(nèi)無油，即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時也能保持穩(wěn)定的性能。

屏蔽電機(jī)

使用屏蔽電機(jī)可以避免在大氣和真空之間使用機(jī)械密封。它可以在清潔的環(huán)境中使用，無需擔(dān)心漏油。

優(yōu)異的耐腐蝕性表面處理

主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕?？梢赃x擇非表面處理作為選項。

用于較短抽真空的常壓啟動型（選項：變頻器）與標(biāo)準(zhǔn)型相比，該類型可以縮短抽氣時間，因為泵與粗抽泵同時啟動。

應(yīng)用

蒸發(fā)、濺射、離子電鍍、真空干燥機(jī)、冷凍干燥機(jī)、真空脫氣
分析儀器、泄漏測試系統(tǒng)、氣體交換、填充、真空絕熱
熱處理、熔化爐
其他各種真空系統(tǒng)

規(guī)格

型號 *1			PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列
最大抽速		50 赫茲	280米3/h （4670 升/分鐘）	500 米3/h （8330 升/分鐘）	1000 米3/h （16700 升/分鐘）	1500米3/h （25000 升/分鐘）
		60 赫茲	330 米3/h （5500 升/分鐘）	600米3/h （10000 升/分鐘）	1200米3/h （20000 升/分鐘）	1800 米3/h （30000 升/分鐘）
最大吸入壓力		50 赫茲	1.2 x 103帕	1.3 x 103帕		1.2 x 103帕
		60 赫茲	約9.3 x 102帕	1.1 x 103帕		約9.3 x 102帕
最大允許壓差		50 赫茲	4.0 x 103帕	7.3 x 103帕		4.3 x 103帕
		60 赫茲	3.3 x 103帕	6.0 x 103帕		3.2 x 103帕
極限壓力 *2			4.0 x 10-1帕		6.7 x 10-1帕
允許的驅(qū)動壓力			~1.0 x 105Pa（常壓啟動型）
電機(jī) *3	電機(jī)類型		Cand 三相感應(yīng)電動機(jī)
	能效等級		ー
	權(quán)力		0.75 kW（2 極）	2.2 kW（2 極）	3.7 kW（2 極）	5.5 kW（2 極）
	電壓（200V 級）	50 赫茲	200 伏
		60 赫茲	200/220 伏
油 *4			ULVOIL R-42
油量			0.7 升	1.5 升	1.9 升
冷卻方式			水冷
冷卻水	一次側(cè) 壓力		0.3 米帕
	入口/出口壓力差異 l 壓力體積		0.01 Mpa以上
	冷卻水容量		2 升/分鐘		3 升/分鐘
	冷卻水溫度 *5		5 ~ 30 °C
入口 JIS-B-2290			相當(dāng)于 VG80 / ISO80F 或 ISO100F（可選）		相當(dāng)于 VG100 / ISO100F （可選）	相當(dāng)于 VG150 / ISO160F （可選）
出口 JIS-B-2290			相當(dāng)于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F（可選）			相當(dāng)于 VF100 / ISO100F （可選）
尺寸 W×D×H *6			296×575×260 毫米	356×619×320 毫米	406×759×340 毫米	406×989×340 毫米
重量			51 千克	86 千克	118 千克	150 千克
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵			VD601 系列	VD901 系列	VS2401 系列	VS2401 系列
適用標(biāo)準(zhǔn)			-
標(biāo)準(zhǔn)附件			一劑油，一套手冊
選擇			無表面處理的泵、適配器法蘭、常壓啟動型（變頻器）、

注）本規(guī)范使用 SI 測量單位。轉(zhuǎn)換為非 SI 單位如下：
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

*1 標(biāo)準(zhǔn)型號為表面處理（陽極氧化涂層）。
可選，無表面處理模型可供選擇。
*2 使用標(biāo)準(zhǔn)前級泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油的皮拉尼真空計測量。
*3 防爆法蘭電機(jī)（增安型和隔爆型外殼型）
無法選擇。
*4 油選項：可選，氟油（J25F）類型可選擇。
*5 在沒有冷凝的環(huán)境中使用。
*6 有關(guān)其他尺寸，請訪問 ULVAC 網(wǎng)站并參考發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。